Malgré les incertitudes économiques entourant l’avenir de la société SilMach, experte dans les Microsystèmes Électromécaniques (MEMS) et à l'origine du projet SAMI, son partenaire, la plateforme MIFHySTO, poursuit ses travaux de recherche. Ces derniers portent sur la fabrication d’empreintes de moules de quelques dixièmes de micromètres sur silicium, puis sur verre.
Le programme industriel SAMI, lancé en 2025 et soutenu par l’Union européenne et la Région Bourgogne-Franche-Comté, intégrait l’acquisition d’une machine de micro-usinage FEMTO seconde à trois axes linéaires, dotée d’une tête optique à cinq axes. "Après plusieurs mois de prise en main par nos équipes, elle est opérationnelle depuis mai 2026", souligne avec satisfaction Sébastien Thibaud, directeur du département Mécanique appliquée de l'institut. Un apprenti-ingénieur de Supmicrotech travaille également à l’intégration de nouveaux équipements, dont un système de vision à l’intérieur de la machine pour visualiser le process d'usinage. Des fonctions d’IA, déjà développées sur d’autres équipements du laboratoire, notamment sur la machine SARIX - qui combine la micro électro-érosion et le microfraisage - seront progressivement déployées.
Des traits de découpe 10 fois inférieurs à la taille d’un cheveu
Cet équipement, particulièrement rare en Europe, ouvre de nouvelles perspectives dans l’usinage de très haute précision sur des matériaux réputés difficiles à travailler, tels que le silicium, le verre ou encore la céramique. La longueur d’onde du laser de 550 nanomètres (nm), dit "vert", permet d’atteindre des traits de découpe jusqu’à 10 fois inférieurs à l’épaisseur d’un cheveu, nettement plus fins que ceux obtenus avec un laser infrarouge. "Nous parvenons à un usinage athermique, ce qui nous permet d’éviter les dommages thermiques, les déformations et les microfissures. Nous repoussons également certaines limites de géométries volumiques et surfaciques avec d’excellentes propriétés mécaniques", observe le chercheur.
Être la référence internationale des technologies hybrides de très haute précision
Plus de 18 mois après le lancement officiel du projet SAMI, les équipes des laboratoires MIFHySTO et MIMENTO – autre plateforme technologique de l'institut FEMTO-ST – finalisent les empreintes de moules sur silicium pour passer à la phase des tests de faisabilité. La prochaine étape des équipes de recherche est de transférer cette technologie à un acteur régional spécialisé en micro-injection. Sans l’implication des deux structures de recherche, ce défi scientifique n’aurait pu être relevé. "Nous sommes véritablement au cœur de l’hybridation des technologies sur ce projet. C’est tout le sens du “Hy” présent dans le nom MIFHySTO. Cette association d’expertises entre la microfabrication en salle blanche et la microfabrication mécanique avec une précision micrométrique est unique en Europe. Ce projet ouvre la voie à de nombreuses applications industrielles", précise Sébastien Thibaud, à la tête de la plateforme depuis sa création en 2010.
Cette prouesse technologique trouve un écho auprès de grands acteurs à la recherche de solutions d’usinage de très haute précision sur des matériaux dits exotiques. Sébastien Thibaut est conscient des enjeux : “Chaque matériau constitue un défi industriel spécifique. Il faut construire, pour chacun d’eux, une véritable stratégie”. Pour le directeur de la plateforme, l’enjeu est assumé : être la référence internationale des technologies hybrides de très haute précision.
